セミナー・イベント：【オンデマンド配信・オンライン決済】装置動画で学ぶリソグラフィ工程～スピンコート・露光・現像を中心に～

種類: セミナー・イベント告知
分野: 人材育成・雇用、研究・商品開発、経営改善・経営強化
業種: 指定無し
地域: 東京都
実施機関: 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター

実施機関からのお知らせ

半導体・MEMSセンサや、光回折格子、マイクロ流路チップなどにみられる微細構造の製造工程では、紫外線フォトリソグラフィや、電子線リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィといったナノ～マイクロメートルスケールのパターニング技術が利用されています。本オンデマンド配信では、実験室レベルでのリソグラフィ工程を当センターの設備で実際に行った様子の動画を交えながら、入門知識の解説を行います。また、ガラス基板に成膜された金属薄膜をウェットエッチングして作る光学回折格子の試作工程を紹介し、理解を深めていただきます。

配信期間：2026年4月27日（月曜日）から2026年7月31日（金曜日）まで
配信方法：オンライン（オンデマンド配信）
費用：1,000円
定員：なし

申込期限：2026年6月30日（火曜日）16時00分

申込方法ほか詳細情報は、「詳細情報を見る」からご確認ください。