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調査・報告書・お知らせ調査・報告書・お知らせ 情報
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■分野:お知らせ・告知・その他

 

■地域:全国 

 

■実施機関:産業技術総合研究所

 

生体への影響が懸念されるフッ素系ガスにのみ応答する検知技術を開発

 

産業技術総合研究所ナノ材料研究部門ナノ粒子機能設計グループ中村徹主任研究員らは、最先端の半導体製造プロセスにおいて用いられているエッチング用のフッ素系ガス成分を、選択的かつ高感度(2ppmを1分以内)に検知できる検知剤を開発するとともに、開発した検知剤を搭載したコンパクトな漏洩検知器を試作しました。

 

掲載日2016/09/02

 

 

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