ロゴ文字サイズの変更
  • 小
  • 中
  • 大
My保存HOME > 支援情報・機関を知る > 支援情報ヘッドライン > 調査・報告書・お知らせ
調査・報告書・お知らせ調査・報告書・お知らせ 情報
印刷用画面前のページに戻る

 

■分野:お知らせ・告知・その他

 

■地域:全国 

 

■実施機関:NEDO

 

EUV光源、発光効率4.0%で250W出力を達成

 

NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン(株)は、現在開発中の極端紫外線(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機で発光効率4.0%、最先端半導体量産適用可能レベルである250Wの発光出力、および130W以上の出力で119時間の連続運転に成功しました。

 

掲載日2016/07/25

 

 

詳細を見る  この情報を保存する