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半導体研磨用パッドの開発でアメリカに進出!
東邦エンジニアリング株式会社 平成17年
企業概要
 昭和61年に東邦鋼機製作所のグループ企業として創業。精密機械加工技術を基にした工作機械の精密部品製作からスタートし、平成10年には独自技術として次世代半導体製造用CMP(ケミカル メカニカル ポリッシング)パッドの開発とパッド開発機械の製造販売に乗出し、大企業が参入しないニッチな新市場の開拓を目指した。

 名古屋工業大学・埼玉大学や公的機関と連携しながら開発した独自技術によって製造された研磨パッドは、これまで使われてきたパッドに比べて研磨能率が良く、研磨品質も非常に良くなることで各方面から注目されている。これまで溝の加工精度が研磨品質にどのような影響を与えるのかは余り注目されていなかったが、当社は前述の大学との共同研究を積極的に進め、パッドの溝の形状が研磨圧力に大きな影響を与えることを解明した。

 鈴木社長は、経営理念として、「独自開発技術を基盤とする競争力ある経営」、「利益率を重視する付加価値重視経営」、「外部との連携を積極的に進める機動性ある経営」を掲げられ、実践されている。

 現在は、CMPパッド溝加工機械に関する米国特許を取得するとともに、アリゾナ大学の教授と共同で合弁企業を設立し、海外への事業展開に乗り出している。
半導体研磨用パッド加工機械

支援内容
 新事業分野への展開を目指し、平成13年にそれまで研究開発を続けていたテーマの事業化計画に着手した。三重県からの経営革新支援対策費補助金交付とともに、鈴木社長自ら当センター主催の「ベンチャースクール」に2年連続参加され、経営計画を作成し、それを基に事業化を進められた。

 平成15年度には、再度経営革新支援対策費補助金を活用するとともに、当センターの商品化事業化可能性調査事業の支援先企業に選ばれた。当該事業の一環として、独自ではそれまで実現できなかった「セミコンジャパン2003」に初出展し、大型商談の成約も実現した。これを機に、毎年増収増益を達成している。

 また、投資家説明会、インキュベーションマネージャーによる支援、サポート研究会への参加等、プラットフォーム事業の総合的支援を継続している。

企業者の声
代表取締役社長
鈴木辰俊氏
 東邦鋼機製作所と共に機械加工の事業を永年経営してきましたが、円高・バブル崩壊・海外移転という急速な環境変化があり、新分野への進出を検討してきました。総合的な支援が得られた為、独力では難しかった新分野への進出が果たせました。

担当者の声
 半導体研磨用パッドという先端技術の開発製造に力を注がれ、アメリカでの合弁企業設立等海外事業展開にも積極的に乗り出されており、今後が楽しみな企業です。現在も当センターの相談事業等の活用があり、継続して支援を行っているところです。

企業基本データ
代表 代表取締役社長 鈴木辰俊
住所 三重県四日市市山分町字川之下443
電話 0593-64-3811
e-mail suzuki@tohokoki.jp
URL http://www.tohokoki.jp/e-top.html
従業員 10名
業種 製造業
主要製品 半導体研磨用パッド
半導体研磨用パッド製造装置
半導体研磨用パッド関連技術の研究開発