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元気なモノ作り中小企業300社


樫山工業株式会社

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2008年度

本コンテンツは、経済産業省発行の冊子に基づくため、内容は掲載当時のものであり、現在とは異なる場合もあります。また、修正等には対応できませんことご了承ください。


代表取締役社長
樫山 宏

最先端分野を支えるドライ真空ポンプメーカー

半導体やフラットパネルディスプレイ(以下、FPD)及び太陽電池をはじめ多岐にわたる最先端分野の製品を製造する際の過酷な製造プロセス環境に応える信頼性の高いドライ真空ポンプを提供するトップメーカー。

半導体回路の線幅微細化に必須のドライ真空ポンプ

1951年の創業以来、水封式やルーツ型真空ポンプで培った技術をもとに、35年の年月を重ねて独自の単段竪型スクリューロータを採用したドライ真空ポンプを他社に先駆けて開発した。急激に微細化が進む半導体製造現場で、油汚染がないクリーンな真空製造環境を提供するドライ真空ポンプは、半導体製造に大きな革命をもたらした。

SDEシリーズの外観

反応副生成物の滞留を抑える竪型スクリューロータ

ポンプ構成材料は、半導体製造に使用されるガスに耐え、圧縮熱により高温になるポンプ内部の材料の伸びも考慮する必要がある。温度による熱膨張変化が少なく、信頼性や耐久性等が高い材料を選定し、様々な状況下で安定した性能が発揮されなければならない。そのための材料開発とともに、消費電力、冷却水及びパージガス量を節約する改良を重ねてきた結果、半導体などの製造工程で発生する反応副生成物がポンプ内に滞留しにくく、ポンプ内を高精度に管理し、ガスを安全に排出することを可能にする竪型スクリューロータを採用したドライ真空ポンプを開発した。

半導体からFPD、そして太陽電池製造へ

ドライ真空ポンプは、大気圧からオーロラができる地上100km上空の真空度まで排気が可能である。FPDの大型ガラス基板に膜を付けたりエッチングをする装置や太陽電池を製造する装置向けの真空ポンプは、短時間で要求された真空度まで装置内のガスを排出しなければならない。そのためには、直列や並列運転を駆使した最適な組合せにより、複数のポンプユニットを組み合わせた大排気速度をもつポンプセットも要求される。幅広い要求に応える製品の開発により、現在売上げでは、国内シェア約30%、世界シェア約15%を確保している。

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